真空泵之離子泵·Noble泵

■概要

在磁場中使冷陰極放電，從而使被電離的氣體分子埋置在陰極，同時將與陰極沖突時的陰極材料（Ti）濺射，連續制造活性吸氣膜。離子泵·Noble泵· Excel泵是利用上述活動來進行排氣的超高真空泵。

因為完全不使用油等有機物,所以能得到完全無油的超高真空。運轉只需電力，沒有機械的運動，因此無震動·無噪音。同時，即使是在突然停電或真空泄漏的情況，也不必擔心會污染被排氣體系統，因此在夜間無人操作時也可放心使用。Noble泵·Excel泵是將離子泵所不擅長的非活性氣體的排氣速度進行改善后所制造的三極型離子泵，它除了有離子泵的全部特長，與離子泵相比還能進行非活性氣體的穩定排氣。

另外，Excel泵通過放電條件的*適化，在極高真空領域的放電特性得到改善。